Dr. Sophie Yan, Applications Engineer, EDAX

最近我们办了一期OIM Analysis如何进行晶粒分析的直播，效果颇出我意料。大家对于基本操作的热情令我始料未及，在播出之后联系我的人中，也往往会提到这一场直播对他们有所帮助。我本以为，这一类关于基本操作的直播并不太吸引人，充其量也不过是成为大家在日常操作中备查的工具视频而已；但，果然是我灯下黑，事实并不是如此。我也借此机会，给大家分享一些基本的原则或窍门。

可能在EBSD的各种应用场景中，最常碰到的是就是粒度分析。绝大多数的人都会有这个需求。EBSD粒度分析的结果，有些会与其它测试的结果吻合，有些会有出入。这时，我们就必须了解EBSD的晶粒是怎么定义，粒度又是怎么测得的，才可能更好的分析EBSD测试的结果。

OIM中的晶粒不同于学术上严格的定义，是指在一定取向范围内的像素点的集合。这个取向范围，即容差角，是可以设置的，一般默认为5度。像素点的个数，也同样可以设置，默认个数为2; 这些参数的设置，其实都会影响我们统计晶粒粒径的结果，因此需要在粒径分析中予以注意。当然，进行粒径分析的前提是数据具有统计意义，有时需要进行大量的重复性的测试来减少误差，也需要在测试之前对数据进行筛选或处理（可参照相关标准进行操作）。

最常见的粒度分析的结果是将晶粒拟合成圆，计算其平均直径，即常见的Grain Size(diameter)曲线。曲线（或柱状图）的右边是数据部分，有不同粒度分布的占比，也列出了平均粒径。这是我被客户问得最多的部分，即，我们的平均粒径的结果是怎么计算的：这个平均粒径其实列出了两种结果，由两种方法分别计算。“number”方法是指按数数目的方法，先计算每个颗粒平均的面积(总面积除以晶粒数)，然后再计算直径；”area”则要考虑因面积不同而带来的不同权重，大颗粒占权重较大，按权重计算出颗粒的平均面积，再计算平均粒径。

除平均粒径外，OIM Analysis还提供了多种表征颗粒形状的图表。最常见的是短长比（grain shape aspect ratio）,是描述非等轴晶粒径的重要参数(晶粒被拟合成椭圆)。当然，除了短边长边的比值，有些颗粒有形状还有明显的择优，按特定的方向生长，针对这一点，Grain Shape Orientation表征长边与水平方向的角度，可以描述这一特性。

OIM Analysis提供非常丰富的功能，晶粒粒径有6种不同图表，晶粒形状有8种。有些图表可能不太常用，但都有对应的应用场景。对于这些相对冷门的图表，一般用户，如不了解其功能，可以在OIM Analysis提供的帮助文件中查询，可以得到关于其功能或定义的相关信息。

粒度分析是EBSD应用非常常用的功能。这一次，作为主讲人，在准备过程中我也挖掘出一些平常不注意的细节，对软件操作也有了更深的了解。相信，随着我们随后不定期推出的一系列培训，我们能更加贴合用户的需求，协助大家把软件用得更好，在新的一年里，获得更大的进步。